130 / 530
Actual Problems in Machine Building. 2016. N 3
Innovative Technologies
in Mechanical Engineering
____________________________________________________________________
130
Для устранения причин торможения процесса ЭХО применяют различные методы его
интенсификации, такие как метод вращающегося дискового электрода, гидродинамический,
лазерный метод и т.д. [10 – 16]. Каждый из этих методов позволяет воздействовать их на ту
или иную стадию процесса растворения.
Таким образом, целью настоящей работы является исследование анодного поведения
кремния в водных щелочных электролитах при стационарных (потенциодинамических)
условиях и при механической интенсификации поверхности исследуемого материала.
Методика экспериментального исследования
В данной работе для поляризационных исследований использовались: потенциостат
модели П – 5827 М, задающий по определенному алгоритму развертку потенциала или тока;
прибор, регистрирующий значение тока; трехэлектродная электрохимическая ячейка.
В качестве электролитов для поляризационных исследований применялись 5% водные
щелочные растворы гидрооксида калия и натрия.
Для исследования анодного поведения кремния в условиях ЭХО использовались
образцы площадью S = 0,22 см
2
и толщиной h = 0,3 мм. Образцы приклеивались на
металлическую подложку специальным, токопроводящим клеем «Контакт». К каждому
образцу припаивался провод. Образцы помещались в эбонитовую оправку, заливались
эпоксидным клеем марки ЭПО – 8, химически стойким к применяемым в ЭХО растворам
электролитов. Перед каждым экспериментом исследуемую поверхность образца
подготавливали согласно методике, изложенной в работах [17, 18].
Потенциодинамический метод заключается в непрерывном снятии поляризационных
зависимостей с заданной скоростью развертки потенциалов при одновременной регистрации
плотности тока, кривые 1 (рис. 1, 2).
Потенциостатическим методом, при механическом обновлении поверхности кремния,
снимались токи включения i = f(t) при значении анодного потенциала от 0 до 8 В с шагом 0,5
В. Обработка результатов потенциостатических исследований позволила определить
плотность тока в начальный момент времени при соответствующих потенциалах, на
основании которых были построены поляризационные кривые 2 (рис. 1, 2).
Рис. 1
Поляризационные зависимости при
обработке кремния в 5% электролите KOH:
1 – потенциодинамический метод;
2 – потенциостатический метод при
интенсификации поверхности
Рис. 2
Поляризационные зависимости при
обработке кремния в 5% электролите NaOH:
1 – потенциодинамический метод;
2 – потенциостатический метод при
интенсификации поверхности